[:ja]研究設備[:en]Facilities[:]

[:ja]デバイス試作関連装置

  • 半導体プロセス用Class1000 クリーンルーム
  • デバイスアセンブリ用Class1000 クリーンルーム
  • レーザー露光機(独Hidelberg社製)
  • 両面マスクアライナー
  • ナノインプリントリソグラフィー装置
  • スピンコーター
  • 超純水製造装置
  • 工業用顕微鏡
  • マグネトロンスパッタリング装置
  • ICPエッチング装置(4台)
  • 走査型マイクロプラズマジェット装置(2台)
  • プラズマアッシャー
  • 真空紫外光照射装置
  • 超音波加工機
  • ラミネーター
  • Siウエファ用めっき装置
  • 陽極接合装置
  • 酸・アルカリ用ドラフト
  • 真空オーブン
  • 3次元加工機

 

バイオ関連装置

  • クリーンベンチ
  • 純水製造装置
  • バイオメディカルフリーザー
  • ディープフリーザー
  • オートクレーブ
  • CO2インキュベーター
  • 顕微鏡上細胞培養装置
  • 卓上遠心分離機
  • 低温遠心分離機
  • 液体クロマトグラフィー
  • サーマルサイクラー
  • ナノドロップ
  • 電気泳動ゲル撮影装置
  • 位相差、蛍光顕微鏡
  • 高速度CCDカメラ
  • EB-CCDカメラ
  • イメージインテンシファイヤ
  • 分析用、精製用液体クロマトグラフィー

計測関連装置、その他

  • リークディテクター
  • マルチチャネル分光器
  • 小型分光器(米Ocean Optics)
  • モノクロメーター
  • 分光光度計
  • サーモグラフィー
  • ガウスメーター
  • データロガー
  • デジタルオシロスコープ
  • ファンクションジェネレータ
  • 薄膜導電率測定装置
  • 照度計
  • ナノパーティクル計測器
  • Arガスレーザー、半導体レーザー、近赤外線レーザー
  • クライオ原子間力顕微鏡
  • バイオ原子間力顕微鏡

[:en]Facilities for device prototyping

  • Class-1000 clean room for nano/microfabrication
  • Class-1000 clean room for device operation
  • Laser lithography system (Hidelberg, Germany)
  • Double-sided mask aligner
  • Nanoimprint lithography (NIL) system
  • Spin coater
  • Ultrapure water system
  • Optical microscope
  • Magnetron sputtering
  • ICP etchers
  • Scanning microplasma etcher
  • Plasma asher
  • VUV exposure system
  • Ultrasonic vibration cutting system
  • Laminator
  • Electroplating system for Si wafers
  • Anodic bonding system
  • Chemical resistant draft chamber
  • Vacuum oven
  • 3D milling machine

 

Facilities for biological research

  • Biological safety cabinet
  • Millipore water purification system
  • Biomedical freezer
  • Deep freezer
  • Autoclave
  • CO2 incubators
  • Centrifuge
  • Liquid chromatograph system
  • Thermal cycler
  • Nanodrop
  • Gel electrophoresis system (Direct Blot)
  • Biological microscope
  • High-speed CCD camera
  • EB-CCD camera
  • Image intensifier

Facilities for measurement/analysis

  • Helium leak detector
  • Multi-channel spectrometer
  • Monochromator
  • Gauss meter
  • Data logger
  • Digital oscilloscope
  • Function generator
  • Resistivity meter
  • Illuminometer
  • Nanoparticle counter
  • Lasers
  • Atomic force microscope

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