研究設備

デバイス試作関連装置

  • 半導体プロセス用Class1000 クリーンルーム
  • デバイスアセンブリ用Class1000 クリーンルーム
  • レーザー露光機(独Hidelberg社製)
  • 両面マスクアライナー
  • ナノインプリントリソグラフィー装置
  • スピンコーター
  • 超純水製造装置
  • 工業用顕微鏡
  • マグネトロンスパッタリング装置
  • ICPエッチング装置(4台)
  • 走査型マイクロプラズマジェット装置(2台)
  • プラズマアッシャー
  • 真空紫外光照射装置
  • 超音波加工機
  • ラミネーター
  • Siウエファ用めっき装置
  • 陽極接合装置
  • 酸・アルカリ用ドラフト
  • 真空オーブン
  • 3次元加工機

 

バイオ関連装置

      • クリーンベンチ
      • 純水製造装置
      • バイオメディカルフリーザー
      • ディープフリーザー
      • オートクレーブ
      • CO2インキュベーター
      • 顕微鏡上細胞培養装置
      • 卓上遠心分離機
      • 低温遠心分離機
      • 液体クロマトグラフィー
      • サーマルサイクラー
      • ナノドロップ
      • 電気泳動ゲル撮影装置
      • 位相差、蛍光顕微鏡
      • 高速度CCDカメラ
      • EB-CCDカメラ
      • イメージインテンシファイヤ
      • 分析用、精製用液体クロマトグラフィー

計測関連装置、その他

    • リークディテクター
    • マルチチャネル分光器
    • 小型分光器(米Ocean Optics)
    • モノクロメーター
    • 分光光度計
    • サーモグラフィー
    • ガウスメーター
    • データロガー
    • デジタルオシロスコープ
    • ファンクションジェネレータ
    • 薄膜導電率測定装置
    • 照度
    • ナノパーティクル計測器
    • Arガスレーザー、半導体レーザー、近赤外線レーザー
    • クライオ原子間力顕微鏡
    • バイオ原子間力顕微鏡

化学合成実験用装置

      • 現在整備中です