デバイス試作関連装置
- Class1000 クリーンルーム
- レーザー露光機(独Hidelberg社製）
- 両面マスクアライナー
- ナノインプリントリソグラフィー装置
- スピンコーター
- 超純水製造装置
- 工業用顕微鏡
- マグネトロンスパッタリング装置
- ICPエッチング装置（4台）
- 走査型マイクロプラズマジェット装置（2台）
- プラズマアッシャー
- 真空紫外光照射装置
- 精密研磨装置
- 超音波加工機
- 射出成型機
- ラミネーター
- Siウエファ用めっき装置
- 陽極接合装置
- 酸・アルカリ用ドラフト
- 真空オーブン
- 3次元加工機
バイオ関連装置
- クリーンベンチ
- 純水製造装置
- バイオメディカルフリーザー
- ディープフリーザー
- オートクレーブ
- CO2インキュベーター
- 顕微鏡上細胞培養装置
- 卓上遠心分離機
- 低温遠心分離機
- 液体クロマトグラフィー
- サーマルサイクラー
- ナノドロップ
- 電気泳動ゲル撮影装置
- 位相差、蛍光顕微鏡
- 全反射顕微鏡
- 高速度CCDカメラ
- EB-CCDカメラ，EM-CCDカメラ
- イメージインテンシファイヤ
- 共焦点顕微鏡
- パッチクランプ用マニピュレーター(独Eppendorf)
- パッチクランプ用増幅器(米Axon)
- 分析用、精製用液体クロマトグラフィー
計測関連装置、その他
- 環境制御型電子顕微鏡（蘭Philips）
- 電子顕微鏡試料用スパッタ装置
- リークディテクター
- マルチチャネル分光器
- 小型分光器（米Ocean Optics)
- モノクロメーター
- 分光光度計
- サーモグラフィー
- ガウスメーター
- データロガー
- デジタルオシロスコープ
- ファンクションジェネレータ
- 薄膜導電率測定装置
- 照度計
- ナノパーティクル計測器
- Arガスレーザー、半導体レーザー、近赤外線レーザー
- クライオ原子間力顕微鏡
- バイオ原子間力顕微鏡
