研究設備

デバイス試作関連装置

  • 半導体プロセス用Class1000 クリーンルーム
  • デバイスアセンブリ用Class1000 クリーンルーム
  • レーザー露光機(独Hidelberg社製)
  • 両面マスクアライナー
  • ナノインプリントリソグラフィー装置
  • スピンコーター
  • 超純水製造装置
  • 工業用顕微鏡
  • マグネトロンスパッタリング装置
  • ICPエッチング装置(4台)
  • 走査型マイクロプラズマジェット装置(2台)
  • プラズマアッシャー
  • 真空紫外光照射装置
  • 超音波加工機
  • ラミネーター
  • Siウエファ用めっき装置
  • 陽極接合装置
  • 酸・アルカリ用ドラフト
  • 真空オーブン
  • 3次元加工機

 

バイオ関連装置

  • クリーンベンチ
  • 純水製造装置
  • バイオメディカルフリーザー
  • ディープフリーザー
  • オートクレーブ
  • CO2インキュベーター
  • 顕微鏡上細胞培養装置
  • 卓上遠心分離機
  • 低温遠心分離機
  • 液体クロマトグラフィー
  • サーマルサイクラー
  • ナノドロップ
  • 電気泳動ゲル撮影装置
  • 位相差、蛍光顕微鏡
  • 高速度CCDカメラ
  • EB-CCDカメラ
  • イメージインテンシファイヤ
  • 分析用、精製用液体クロマトグラフィー

計測関連装置、その他

  • リークディテクター
  • マルチチャネル分光器
  • 小型分光器(米Ocean Optics)
  • モノクロメーター
  • 分光光度計
  • サーモグラフィー
  • ガウスメーター
  • データロガー
  • デジタルオシロスコープ
  • ファンクションジェネレータ
  • 薄膜導電率測定装置
  • 照度計
  • ナノパーティクル計測器
  • Arガスレーザー、半導体レーザー、近赤外線レーザー
  • クライオ原子間力顕微鏡
  • バイオ原子間力顕微鏡